熱電偶 TC
由於半導體的制程當中溫度是須要嚴格及精確的控制，所以我們的熱電偶也同時達到更嚴格的Diet Standards(日本國家標準)。我們提供全系列T/C(熱電偶)包含單點式、三點式、五點式，並可完全依照客戶的圖面來訂制。

炉管热电偶

石英,陶瓷製品及石墨
半導體制程中陶瓷、石英、石墨材質的產品應用甚廣。在這些材質加工及製造成為成品的過程是複雜且有許多必須注意的事情，例如說微粒控制、純度、目視瑕疵、應力控制、鍛造控制……。 本公司代理之零元件的製造商有悠久之歷史及豐富的經驗於半導體界，並取得多家世界級半導體設備供應商的資格認證，我們有高精密的電腦數值控制機台，全制程監控軟體、多步驟的零件包裝前清洗及目視檢驗，所有的步驟皆於無塵室內進行，來確保客戶的權益。

Etch 制程石英,陶瓷制品及石墨

EPI 制程石英,陶瓷制品及石墨

APCVD-N2 SHIELD
N2-Shield 應用於半導體大氣壓化學汽相沉積設備制程中，本公司的N2-Shield采一體成型，無螺絲設計，增加使用壽命，延後定期保養的時程，提高產能利用率。 N2 Shield的網面部分采特殊的加工法制成，每一網洞的大小及形狀均一，使得我們的裝置在均勻度及沉積率方面的表現非常好，這是由我們許多的客戶驗證的結 果，另外在各接縫處加強焊接，經由多層次的制程及清潔程式後裝置的兩側檔片亦不會因氫氟酸的強力清洗而脫落。

N2 Shield

零組件翻新
公司的可信度、售後服務及技術人員的經驗和專業技術水準是是選擇翻新公司的標準之一 。 冠緯在業界十多年的經驗,可為廠商提供完備的解決方案 。

光学雷射头翻修整新 Laser Head Refubishment

离子植入机零组件 Ion Implate

电源供应器 Power Supply

射频产生器 RF Generator

射频匹配器 RF Match

新設備
我 們所提供的產品，分為設備、材料及零配件二大部份；設備如各式幹蝕刻機， 去光阻機，爐管，晶舟及光罩清洗機等.....，材料零配件範圍非常廣泛，從測試晶圓、加工之晶圓，到半導體及光電業各個制程，如黃光、擴散、離子植入、 CVD、PVD、Etch、CMP等，均有產品提供，客戶包含國內外各大半導體前制程、後制程及半導體設備廠商及光電廠商。

02. 去光阻机 PR Stripper

01.电浆洗涤机 Dry Scrubber (Plasma Trap)

機器手臂翻修

Gemark

PRI

Brooks