我們的鍍膜系統提供以下的功能，您可以依照您的需求選擇：

 

l   多個雙陰極磁控靶源

l   DC/反應式濺鍍

l   電漿清潔

 

我們的設計站在使用者立場思考，希望能創造最好的操作經驗，因此我們的設備也具有以下特色:

 

l   One-touch全自動操作

l   真空加強幫浦使用變頻器控制，平順的啟動與停止，防止設備振動。

l   擴散幫浦採用SCR溫度控制，穩定抽氣速率，以使鍍膜品質穩定。

l   擴散幫浦溫度拉進電腦內作製程監測與控制，提升設備穩定度。

l   管路真空度與桶身真空度拉進電腦內作製程監測與控制，提升設備穩定度。

 

 

TEL:(04)-26307711．FAX:(04)-26307911
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