我們的鍍膜系統提供以下的功能,您可以依照您的需求選擇:
l 多個雙陰極磁控靶源
l DC/反應式濺鍍
l 電漿清潔
我們的設計站在使用者立場思考,希望能創造最好的操作經驗,因此我們的設備也具有以下特色:
l One-touch全自動操作
l 真空加強幫浦使用變頻器控制,平順的啟動與停止,防止設備振動。
l 擴散幫浦採用SCR溫度控制,穩定抽氣速率,以使鍍膜品質穩定。
l 擴散幫浦溫度拉進電腦內作製程監測與控制,提升設備穩定度。
l 管路真空度與桶身真空度拉進電腦內作製程監測與控制,提升設備穩定度